日工の技術雑誌

ミニマルファブによる製造技術の革新
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minimalfab

ミニマルファブによる製造技術の革新

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現在、半導体生産システムにおいて、ファブの巨大化とそれにともなう投資額の増大が問題となっており、勝ち組、負け組の企業の明暗が分かれています。また、勝ち組の企業においても過当競争に突入し、容易に利益が確保できない状況となっています。
こうした状況の中、ハーフインチウェーハと30㎝幅のプロセス装置群を用い、局所クリーン化搬送システムを導入した超小型半導体生産システムがミニマルファブです。このミニマルファブは小額な設備投資で多品種少量生産の実現を可能とし、今後の日本の半導体産業の切り札とも言えます。月刊「クリーンテクノロジー」2013年12月号では、産業技術総合研究所、原史朗様のご協力の元、このミニマルファブを特集し、この特集を基に本冊子を編集致しました。

月刊「クリーンテクノロジー」小冊子
編集:月刊「クリーンテクノロジー」編集部
B5判 68ページ
2014.4.10

■目次

○ミニマルファブ構想/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/原 史朗
○ミニマルファブ技術研究組合/ミニマルファブ技術研究組合/久保内 講一
○ミニマルファブにおけるデバイスプロセス開発事例/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/クムプアン ソマワン・原 史朗
○ミニマル3DIC・実装ライン開発構想と具体的進捗事例/(独)産業技術総合研究所/井上 道弘
○ミニマルウェーハ搬送前室システム/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/前川 仁・原 史朗/(株)ナノテック/横山 泰顕・横山 元宣/㈱三明/ミニマルファブ技術研究組合/犬塚 善樹
○ハーフインチウェーハの開発/不二越機械工業㈱/ミニマルファブ技術研究組合/住澤 春男・黒岩 久人
○ミニマルウェット処理装置群/㈱プレテック/ミニマルファブ技術研究組合/後藤 昭広
○ミニマル塗布・現像装置/リソテックジャパン㈱/ミニマルファブ技術研究組合/扇子 義久・武内 翔/ミニマルファブ技術研究組合/奧田 修史/(独)産業技術総合研究所/ミニマルファブ技術研究組合/クムプアン ソマワン・原 史朗
○ミニマルマスクレス露光装置/㈱ピーエムティー研究所/ミニマルファブ技術研究組合/三宅 賢治・入田 亮一
○ミニマルマスクアライナー/㈱三明/ミニマルファブ技術研究組合/犬塚 善樹
○ミニマルCMP装置開発/不二越機械工業㈱/ミニマルファブ技術研究組合/中村 由夫・澁谷 和孝
○ミニマル集光型CVD炉/(独)産業技術総合研究所/ミニマルファブ技術研究組合/池田 伸一・石田 夕起・原 史朗/横浜国立大学/羽深 等/ミニマルファブ技術研究組合/中戸 克彦・三ヶ原 孝則
○ミニマル抵抗加熱炉/光洋サーモシステム㈱/ミニマルファブ技術研究組合/服部 昌
○ミニマルレーザ加熱炉/坂口電熱㈱/千葉 貴史
○ミニマルファブにおけるプラズマプロセス装置/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/小木曽 久人・中野 禅・清水 禎樹・クムプアン ソマワン・原 史朗/ミニマルファブ技術研究組合/田中 宏幸・加藤 旭彦/(独)産業技術総合研究所/行村 健/㈱デザインネットワーク/二川 真士・吉岡 秀明・福田 孝弘・内山 嘉典/誠南工業㈱/薮田 勇気
○ミニマルモデルルーム/大成建設㈱・ミニマルファブ技術研究組合/伊藤 宏・鴫原 新一/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/クムプアン ソマワン・原 史朗

○関連企業ガイド
㈱SPPテクノロジーズ・オリエンタルモーター㈱・熊本防錆工業㈱・黒田精工㈱・光洋サーモシステム㈱・㈱小松精機工作所・坂口電熱㈱・㈱三明・信越ポリマー㈱・大日商事㈱・TOOL ㈱・㈱デザインネットワーク・㈱ピーエムティー・㈱プレテック・横河ソリューションサービス㈱・㈱米倉製作所・リソテックジャパン㈱・㈱ロジック・リサーチ

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