日工の技術雑誌

薄膜の評価技術ハンドブック
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GH-10

薄膜の評価技術ハンドブック

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物質、形状、性質の異なるさまざまな薄膜をより適切に評価するためにはどのようなポイントに留意し、どのような方法を用いたらよいか? 
これまでさまざまな薄膜とともに用いられてきた多種多様な評価法を基礎から最先端の評価技術まで含め1冊に網羅!
第Ⅰ部では薄膜の形状、膜厚、構造、組成・結合状態といった基本事項の評価技術、
第Ⅱ部では電気、磁気、光学、化学など手法別にまとめた薄膜の物性評価や熱物性評価、
第Ⅲ部ではLSI、半導体パワーデバイス(欠陥評価とデバイス特性)、LED照明、薄膜太陽電池、薄型ディスプレイ、
薄膜磁気メモリ、有機薄膜デバイス、バイオセンサなど薄膜の応用現場における評価事例を詳しく解説! 
また、有機薄膜についても各部で別に項を設けて詳述! 薄膜を評価する際の道しるべに最適のハンドブック!

B5判 二段組上製本 648頁
発行:㈱テクノシステム
販売取扱:日本工業出版㈱
※送料無料

<編集>
●監 修
金原 粲 東京大学 名誉教授 工学博士

●編集委員長
吉田 貞史 (独)産業技術総合研究所 先進パワーエレクトロニクス研究センター 招聘研究員 工学博士

●編集幹事
中川 茂樹 東京工業大学 大学院理工学研究科 電子物理工学専攻 教授 工学博士
波多野 睦子 東京工業大学 大学院理工学研究科 電子物理工学専攻 教授 工学博士
山田 寿一 (独)産業技術総合研究所 フレキシブルエレクトロニクス研究センター フレキシブル有機半導体チーム 主任研究員 博士(工学)
吉川 正信 株式会社東レリサーチセンター 取締役 表面科学研究部部長 工学博士

●編集委員 敬称略
内田 秀和 埼玉大学 大学院理工学研究科 数理電子情報部門 電気電子システム領域 准教授 博士(工学)
大岩 烈 オミクロン ナノテクノロジー ジャパン株式会社 代表取締役社長
梶川 浩太郎 東京工業大学 大学院総合理工学研究科 物理電子システム創造専攻 教授 博士(工学)
木村 滋 (公財)高輝度光科学研究センター 利用研究促進部門 ナノテクノロジー利用研究推進グループ グループリーダー 副主席研究員 博士(工学)
先崎 純寿 (独)産業技術総合研究所 先進パワーエレクトロニクス研究センター SiCパワーデバイスチーム 主任研究員 博士(工学)
馬場 茂 成蹊大学 理工学部 物質生命理工学科 教授 工学博士
馬場 哲也 (独)産業技術総合研究所 計測標準研究部門 招聘研究員 理学博士
二本 正昭 中央大学 理工学部 電気電子情報通信工学科 教授 工学博士
増田 淳 (独)産業技術総合研究所 太陽光発電工学研究センター 太陽電池モジュール信頼性評価連携研究体 連携研究体長 博士(工学)
矢野 史子 東北大学 金属材料研究所 材料照射工学部門 客員准教授 工学博士

■目次

第Ⅰ部 基本的評価技術

第1章 形状観察

 第1節 表面形状観察
 第2節 膜厚測定

第2章 構造観察
 第1節 X線による観察
 第2節 電子線による観察
 第3節 粒子線による観察
 第4節 点欠陥の観察

第3章 組成・結合状態の分析
 第1節 電子線による分析
 第2節 イオン線による分析
 第3節 X線による分析
 第4節 光による分析
 第5節 化学的手法による分析

第4章 先端的薄膜評価技術
 第1節 3次元観察・計測による薄膜ナノ構造の評価
 第2節 表面プラズモンによる薄膜構造,組成評価
 第3節 放射光を用いた分析
 第4節 中性子線(JRR-3, J-PARC)を利用した分析
 第5節 テラヘルツ波を用いた薄膜評価
 第6節 有機薄膜の形状・構造・組成評価

第Ⅱ部 基本物性測定

第1章 電気的手法による薄膜物性評価

 第1節 導電特性の評価
 第2節 半導体特性の評価
 第3節 誘電・絶縁特性の評価
 第4節 超伝導特性の評価

第2章 磁気的手法による薄膜物性評価
 第1節 薄膜の磁化測定
 第2節 透磁率
 第3節 磁気異方性測定
 第4節 磁歪測定
 第5節 磁気イメージング
 第6節 スピントロニクス評価

第3章 光学的手法による薄膜物性評価
 第1節 分光反射率・透過率・吸収率・吸収係数
 第2節 発光特性評価
 第3節 非線形光学特性
 第4節 導波路特性

第4章 薄膜の力学的物性評価法
 第1節 付着
 第2節 内部応力
 第3節 硬さ・摩擦・磨耗
 第4節 弾性率

第5章 薄膜の熱物性評価法
 第1節 放射率
 第2節 サーモリフレクタンスによる測温技術

第6章 薄膜の化学的物性評価
 第1節 親水性と撥水性
 第2節 ガスバリア性
 第3節 電池電極特性
 第4節 抗菌性

第7章 有機薄膜の物性評価
 第1節 電気的手法による有機薄膜物性評価
 第2節 光学的手法による有機薄膜物性評価

第Ⅲ部 薄膜の応用事例とその性能評価法

第1章 LSIの評価

 第1節 LSI評価の概要
 第2節 インラインQC
 第3節 故障解析

第2章 ワイドギャップ半導体デバイス:欠陥評価とデバイス特性
 第1節 SiCパワーデバイス
 第2節 GaNパワーデバイス
 第3節 LED 照明

第3章 薄膜太陽電池
 第1節 薄膜太陽電池モジュールの構成
 第2節 太陽電池モジュール用部材の基礎
 第3節 太陽電池モジュール用周辺エッジシール材
 第4節 太陽電池モジュールの製造装置:ケーシング技術
 第5節 太陽電池モジュールの信頼性試験
 第6節 太陽電池モジュールの性能評価

第4章 薄型ディスプレイ
 第1節 薄膜トランジスタ
 第2節 液晶ディスプレイの評価
 第3節 有機ELディスプレイの評価

第5章 薄膜磁気メモリ
 第1節 薄膜磁気記録媒体
 第2節 磁気記録用ヘッド薄膜

第6章 有機薄膜デバイス
 第1節 有機薄膜発光ダイオードの特性評価
 第2節 有機薄膜太陽電池の評価
 第3節 有機薄膜トランジスタの動作解析

第7章 バイオセンサ
 第1節 ナノ材料薄膜
 第2節 自己組織化膜
 第3節 疑似生体膜
 第4節 分子インプリント
 第5節 機能積層膜

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