日工の技術雑誌

クリーンテクノロジー 2017年4月号
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L1704

クリーンテクノロジー 2017年4月号

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■特集:クリーンルームのさまざまな展開2
○旋回流誘引型成層空調システム:最先端半導体工場への展開
/高砂熱学工業(株)/松岡 慎・守屋寛之
本稿では、温度成層空調を用い、クリーンルームを効率的に空調・清浄度管理できる独自技術「TCR-SWIT(ティーシーアールスィット)」について、その基本的な技術説明とともに最先端半導体工場への導入事例を紹介する。

○最新クリーンルームにおける新技術
/新日本空調(株)/河野秀隆・永坂茂之・磯 佑輔
製品の高度化に伴いクリーンルームの環境も多種多様な空調条件が求められるようになってきており、既存の空調技術だけでは要求に対応できず、クリーンルームを構築するための新たな技術が必要となってきた。本稿では、多くの問題を解決することを目的として開発された当社のクリーンルームにおける新技術、省エネルギー技術について紹介する。

○当社のクリーンルームの今後の展開
/蒲田工業(株)/山田 学
年4回の展示会、Webソリューションの集客で更なる飛躍を目指す当社は、「クリーンテクノロジーのKAMATA」への転換を目指す。本稿では、その技術の要諦について述べる。

■特集:粒子・ミストの除去・測定
○エアフィルタの将来の展望
/金沢大学/大谷吉生
本稿では、エアフィルタの現在の課題と、空気清浄以外へのエアフィルタの新たな応用について紹介する。

○光散乱式浮遊粉じん計の精度管理に関する検討
/芝浦工業大学/西村直也
光散乱式のデジタル粉じん計は、室内の浮遊粉じんの計測に幅広く用いられており、特に建築物衛生法対象建物の測定用機器には粉じん計本体の較正が義務づけられている。本稿では粉じん計の較正時に現れる誤差について、較正用粒子の観点から検討を行った。

○サンプルチューブが微粒子の測定性に及ぼす影響
/暮らしの科学研究所(株)/石井洋介・成田泰章・佐久間俊樹・吉田菊躬
/東北文化学園大学大学院/野﨑淳夫
微粒子測定において、試料空気はサンプルチューブを介して計測器まで搬送されるが、測定性はサンプルチューブの仕様に影響を受ける。本稿では、サンプルチューブの材質が測定値に及ぼす影響について実験的に検証した。

○エアフィルタろ材のタバコ耐久性に関する調査
/日本バイリーン(株)/大場俊哉・田中広志・冨岡孝宏
空気清浄機に用いられるエアフィルタにはタバコ煙に対しての耐久性(寿命)が求められている。タバコ耐久性の高いエアフィルタろ材の開発に向けて、ろ材構成(繊維径、繊維樹脂成分)とタバコ耐久性の関係性について調査した。

○イオンを用いた建物内への微粒子持ち込み抑制に関する研究
/ダイダン(株)/橋本 翔
建物内の微粒子増加の要因のひとつに、人の衣類に付着したまま持ち込まれる微粒子がある。本稿では、静電気により付着した微粒子の持ち込みを抑制することを目的として、イオンを用いたシステムによる微粒子付着数の低減効果について述べる。

○環境大気エアロゾルの帯電状態測定の現状と展望
/慶應義塾大学/奥田知明
近年、PM2.5等のエアロゾルによる健康影響に対する関心が高まっているが、その有害性に関する重要なパラメータと考えられる帯電状態の測定は進んでいない。本稿では、筆者の研究例を中心に、環境大気エアロゾルの帯電状態測定の現状と展望を解説する。

○超微粒子に対するフィルタの適用可能性
/日本バイリーン(株)/村本嘉朗
/工学院大学/並木則和/東京工業大学/鍵 直樹
レーザープリンタから超微粒子(UFP:Ultrafine Particle)が発生していると言われており、その対策としてエアフィルタの適用可能性を検討した。本稿では、当社におけるUFP対策用フィルタの開発状況について述べる。

○新しいエアロゾル光散乱全角度分布計測装置の開発と性能評価
/名古屋大学/中川真秀・中山智喜・松見 豊
大気中のサブミクロンサイズの単一微粒子の光散乱特性を測定し、リアルタイムで形状を推定する装置を開発している。本稿では実際の粒子に対する球形・非球形の判別や屈折率の推定の測定結果について報告する。

■製品特集:最近の測定器
○ハンドヘルドパーティクルカウンタをよりダイナミックに活用する
/(株)エアリーテクノロジー/水野真人
気中パーティクルカウンタ(OPC)が日本の産業に導入され40有余年。OPCとしてのイメージも固まっている感があるが、「現在」を把握することで、よりダイナミックに工程、清浄度管理に貢献できないか本稿でその可能性を探った。

○ハンドヘルド型気中パーティクルカウンターHHPC+
/(株)エル・エム・エス/林 宗輝
本稿では、製造現場にて多用されている圧縮空気の空気清浄度を管理するために、気中パーティクルカウンターで微粒子数の数値化を可能にする高圧ディフューザーとパーティクルカウンターを紹介する。

○世界初、最小可測粒径10nmの超純水中粒子汚染管理
/日本カノマックス(株)/大竹哲也
半導体業界では近年の著しいデバイスの小型化高集積化に伴い、製造工程で用いられる水質管理において高精度なモニタリングが求められている。本稿では、半導体製造工程において歩留りに影響する汚染粒子を、より高いレベルで測定管理が可能な新技術を紹介する。

○環境モニタリングの手法と注意点
/メルク(株)/太田垣寛
本稿では、環境モニタリング項目の一部である微生物モニタリングについて解説し、特に無菌医薬品製造施設における微生物モニタリングを中心に管理基準および測定方法についてまとめた。

○デジタル粉じん計の原理と最新機器
/柴田科学(株)/乾谷正樹
当社では昭和37年より現在までの約60年間、デジタル粉じん計の開発、製造、販売を行い、一般大気環境、労働災害防止、公衆衛生の向上を図る上で重要な基礎データを得るための測定器として広く活用されてきた。本稿ではデジタル粉じん計の基本的な考え方とともに現在広く使用されているレーザー光源を用いた粉じん計LD型の特性について紹介する。

■連載
○わかりやすく学べるクリーンルームの基礎と汚染対策 第48回
/新日本空調(株)/水谷 旬

■シリーズ:研究室紹介
○神奈川大学理学部化学科西本研究室
/神奈川大学/西本右子

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